潔凈工程車間怎樣控制污染

　　在顯示器生產中，潔凈工程車間環境污染控制的好壞決定了顯示器生產效率的高低。顯示器的整個生產過程都必須在受控環境要求中進行，中山科瓦特凈化工程公司告訴大家：大部分的顯示器都在10萬級潔凈工程車間中生產。隨著高科技的發展需求，有些顯示器必須在高精度的潔凈工程環境下生產。?其污染控制難度的相應變大，需采用適合的分析產率和塵粒產生的方法。廠家并不總是分析塵粒的組成，他們往往通過查看玻璃面板的生產過程來查找、分析塵粒產生的根本原因。

　　進入潔凈工程車間的人員必須要穿潔凈服，別外每周要進行清洗，包裝前需測試塵粒度，然后才能投入使用。所用的消耗品，包括抹布、拖把、過濾器等在進車間前需滅菌并雙層包裝。潔凈工程車間的工作人員每六個月需經再次培訓以加強工作技能。

　　為了更好地控制污染，在潔凈車間，需定期監控，保證環境的潔凈度和工具的運轉正常。系統性清潔衛生和定期檢修可以幫助降低潔凈車間的塵粒度。在潔凈車間 地監控在線塵粒的方法就是使用一塊作證的面板，這塊面板是一塊帶金屬層的玻璃襯底。將這塊面板放在潔凈車間的內移動，可以監控不同區域的塵粒。如果塵粒大量增多，就需進行分析，解決問題。

　　污染物可能對工藝過程和器件產生下列影響：器件工藝良品率。在一個污染環境中制成的器件會引起多種問題。污染會改變器件的尺寸，改變表面的潔凈度，并且/或者造成有凹痕的表面。在晶片生產的過程中，有一系列的質量檢驗和檢測，他們是為檢測出被污染的晶片而特殊設計的。高度的污染使得僅有少量的晶片能夠完成全工藝過程，從而導致成本升高。

　　器件性能。一個更為嚴重的問題是在工藝過程中漏檢的小的污染。晶片看起來是干凈的，但其中未能檢測出來的顆粒、不需要的化學物質和高濃度的可移動離子污染物，可能會改變器件的電性能。這個問題通常是在芯片切割時的電測試中顯現出來。

　　器件可靠性。最令人擔心的莫過于污染對器件可靠性的失效影響。小劑量的污染物可能會在工藝過程中進入晶片，而未被通常的器件測試檢驗出來。然而，這些污染物會在器件內部移動，最終停留在電性敏感區域，從而引起器件失效，因此潔凈工程行業的環境要求與發展會逐漸成為高科技行業關注的目標，

　　隨著顯示器行業和市場的發展，對顯示器品質的要求也越來越高。品質控制工具逐漸成為廠家管理生產的方法。同時，顯示器行業的標準化也是未來發展的一個趨勢，這無疑把潔凈工程建設推向了一個更高的平臺。