潔凈室的常見的幾種氣流方式

層流式：層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高
架地板或兩側隔板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為
CLASS1-100。其型式可分為二種：
                                       
水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，
一般在下流側污染較嚴重。
                     
垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中
或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其他工作區域。

                          
亂流式：空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器（HEPA）進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間
墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級
1000-100，000級。
                                       
復合式：復合式為將亂流式及層流式予以符合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。我們也稱之為非單向流。